Rúrková pec PECVD
Rúrková pec PECVD je systém rúrkovej pece na plazmové nanášanie v plynnej fáze, ktorý pozostáva z kremennej reakčnej komory, vysokofrekvenčného napájacieho zdroja, viackanálového systému miešania plynu, vákuovej jednotky a systému riadenia reakcie. Pec používa vysoko čistý vláknitý materiál z oxidu hlinitého a povrch je potiahnutý dovážaným vysokoteplotným povlakom oxidu hlinitého, aby sa predĺžila životnosť prístroja a zlepšila sa účinnosť vykurovania. Rádiofrekvenčné indukčné zariadenie je inštalované pred tradičnou chemickou depozíciou pár na ionizáciu reakčného plynu a generovanie plazmy. Vysoká aktivita plazmy urýchľuje reakciu. Má dobrú rovnomernosť a opakovateľnosť, môže vytvárať filmy na veľkej ploche, môže vytvárať filmy pri nízkych teplotách, má vynikajúce pokrytie krokov a ľahko sa kontroluje zloženie a hrúbka filmu a ľahko sa industrializuje. Je široko používaný pri raste tenkých vrstiev, ako je grafén, oxid kremičitý, nitrid kremíka, oxynitrid kremíka a amorfný kremík (A-SI: H). $ $
| Veľkosť rúry pece (MM) | Prevádzková teplota (°C) | Stupeň vákua | Výkon (KW) | Napätie | Vykurovacie telesá | Rýchlosť vykurovania |
| Φ60*2200 | 1100 °C | -0,1 MPA 10PA 6,67 x 10-4 PA | 3 | 220/380V | Odporový drôt | 1-20 °C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120 * 2200 $ $ | 5 |
-
Úvod do Vákuové tepelné spracovanie Vákuové tepelné spracovanie je pokročilý metalurgický proces používaný na zlepšenie mechanických vlastností a odolnosti priemyselných komponentov. Zahrievaním materiálov vo vákuovom prostredí sa minimalizuje oxidácia a kontaminácia, čo vedie k presnému a konzistentnému výkonu materiálu. Táto technika je široko používaná v odvetviach, ako je letecký a kozmický priemysel, automobilový priemysel, výroba nástrojov a elektronika. Zvýšená pevnosť ...
