Systém pece PECVD
Tento produkt je stredne veľký posuvný systém PECVD. Tento systém rúrových pecí PECVD je vybavený plazmovým vysokofrekvenčným napájacím zdrojom, trojcestným systémom hmotnostného prietoku plynu (s rozsahmi 1-100 SCCM, 1-200 SCCM a 1-200 SCCM), otvorenou rúrovou pecou s priemerom 60 mm (s vákuovou prírubou a spojovacím potrubím) a mechanickým čerpadlom.
Informácie o produkte
| Model produktu | Systém posuvných rúrových pecí PECVD——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Hlavné parametre produktu | Napájanie: 220V 50/60Hz; Menovitý výkon: 3,1 kW; Maximálna prevádzková teplota: 1200 °C (<0,5 h); Trvalá prevádzková teplota: ≤1100°C; Odporúčaná rýchlosť ohrevu: ≤10°C/min; Dĺžka vykurovacej zóny: 440 mm; Termočlánok: typ K |
| Hlavné vlastnosti | RF napájanie môže dosiahnuť zlepšenie plazmy a výrazne znížiť experimentálnu teplotu; rýchly nárast a pokles teploty sa dá dosiahnuť posúvaním telesa pece; namáhanie fólie môže byť kontrolované frekvenciou RF napájacieho zdroja; stechiometria môže byť riadená úpravou procesu; je možné nanášať rôzne materiály ako SiOx, SiNx, SiOxNy a (a-Si:H) |
| Vyhrievacie teleso | Drôt zo zliatiny železo-chróm-hliník 0Cr21Al6Nb |
| Veľkosť rúry pece | Priemer kremennej trubice voliteľný: Φ60 |
| Systém regulácie teploty | Obsahuje regulátor teploty YD858; PID riadenie a samoladiace nastavenie, inteligentné 50-segmentové programovateľné riadenie, s funkciami alarmu prehriatia a vyhorenia; presnosť regulácie teploty: ±1℃ |
| Plazmový RF zdroj | 300W RF napájanie; Výstupný výkon: 0~300W nastaviteľný; RF frekvencia: 13,56 MHz; Automatické párovanie; Hladina hluku < 50dB; Spôsob chladenia: Chladenie vzduchom; Vstupné napätie: 180~250V |
| Rozhranie vákuovej tesniacej príruby | Štandardná konfigurácia: pár vákuových prírub z nehrdzavejúcej ocele a vysokoteplotné silikónové tesniace krúžky; výstupné príruby sú trojcestné príruby K16, KF25 a Φ8.2; výstupnú prírubu je možné pripojiť k adaptéru KF25 s vlnovcom a následne k vákuovej pumpe. |
| vákuové čerpadlo | Prijať dvojité rotačné lopatkové mechanické vákuové čerpadlo TRP-12; stupeň vákua môže dosiahnuť 10-2 torr; príslušenstvo na pripojenie vákua je vybavené svorkami KF25 a vlnovcom z nehrdzavejúcej ocele na pripojenie rúrovej pece a vákuového čerpadla |
| Systém dodávky plynu | Trojcestný hmotnostný prietokový zmiešavací systém - GYS-3Z; Napájanie: 220V 50/60Hz; Rozsahy merania: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Mechanický manometer je inštalovaný na prednom paneli a pripojený k zmiešavaciemu potrubiu; Rozsah manometra: -0,1-0,15MPa; Veľkosť miešacej nádrže: Φ80 * 120 mm; Vnútorné spojovacie potrubie je Φ6,35 |
| Konštrukcia pece | Teleso pece sa môže pohybovať doľava a doprava a vysokofrekvenčný napájací zdroj sa môže pohybovať doľava a doprava. Teleso pece a RF napájanie sú inštalované na rovnakej posuvnej koľajnici a používajú rovnakú kremennú trubicu. |
| Certifikačné štandardy a základné komponenty | Hlavné komponenty celého stroja sú v súlade s CE, UL, MET a inými certifikačnými normami; hlavné komponenty zahŕňajú elektrické komponenty ABB, UL certifikované vodiče a káble, nástroje Omega, Yudian, Continental atď. |
Kontaktujte nás
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. bola založená v roku 2015. Je to profesionálny podnik, ktorý vyvíja a vyrába ultraľahké energeticky úsporné vysokoteplotné materiály a predáva experimentálne elektrické pece, priemyselné elektrické pece a neštandardné elektrické pece na mieru. Profesionáli Systém pece PECVD Výrobcovia a Systém pece PECVD TováreňSpoločnosť sa riadi princípom „prežitie vďaka kvalite, rozvoj vďaka reputácii“ a dodržiava obchodnú filozofiu „praktickosť, integrita a efektívnosť“. Zaviazali sme sa poskytovať komplexné a vysokokvalitné riešenia zariadení pre zákazníkov v odvetviach, ako je keramika, hutníctvo, elektronika, sklárstvo a chemické inžinierstvo. Poskytujeme tiež služby, ako je praženie prášku, spekanie keramiky a vysokoteplotné experimenty pre univerzity, výskumné ústavy a priemyselné a banské podniky. Zároveň sa snažíme podporovať strategický rozvoj ľahkých, energeticky úsporných a ekologických vysokoteplotných hliníkových vlákien spoločnosti Nengcheng v oblasti nových pecí a stať sa medzinárodne popredným poskytovateľom pokročilých vysokoteplotných zariadení. Systém pece PECVD Zákazková výroba.
Najnovšie správy
-
Úvod do Vákuové tepelné spracovanie Vákuové tepelné spracovanie je pokročilý metalurgický proces používaný na zlepšenie mechanických vlastností a odolnosti priemyselných komponentov. Zahrievaním materiálov vo vákuovom prostredí sa minimalizuje oxidácia a kontaminácia, čo vedie k presnému a konzistentnému výkonu materiálu. Táto technika je široko používaná v odvetviach, ako je letecký a kozmický priemysel, automobilový priemysel, výroba nástrojov a elektronika. Zvýšená pevnosť ...
